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如果全系統都是空的，打開系統除通大氣的所有閥門，關閉壓縮機的排氣閥，打開排氣閥的多用旁通口通大氣，開啟壓縮機運轉，此時系統的氣體被壓縮機吸入經壓縮從排氣閥的旁通口排向大氣中，此后壓縮氣體的壓力越來越小，待壓縮機的吸氣壓力（表壓力）穩定在真空（-0.1MPa，760mmHg）度時，排氣旁通口已完全無氣體噴出時，關閉旁通口后停機，打開壓縮機的排氣閥，系統真空完畢。
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